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产品简介
AltraPure® GSK 系列嵌入式垫片过滤器,是一种紧凑的全金属过滤器,适用于半导体制程气体分配系统中的采用标准管路的1/4”、3/8”、1/2”VCR连接的场景。
过滤效率>99.99%,保护敏感气体组件在高达400℃(752℉)的应用中免受颗粒物影响而受到损坏,如:质量流量控制器,调节器和阀门等。
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